Projekt – Innovationskonsortiet Octopus

Octopus - The European NanoImprintFactory - nanoprocesser, produkter og forretning

Projektstart 1. januar 2008. Afsluttet august 2011.

Projektet er afsluttet.

Octopus indfanger international viden, bringer den ind i en dansk kontekst, blander den med dansk forskning af international klasse og sender den ud i et aktivt teknologisk samspil med virksomhederne. Med afsæt i F&U kompetencerne etableres en unik NanoFabrik i europæisk klasse, som adskiller sig fra andre rentrumsmiljøer i kraft af de valgte nøgleprocesser, materialer og produkttyper. Der opbygges forsknings- og teknologikompetencer rettet mod udvikling af nye processer, nye produkter og nye services. Octopus adresserer en af de helt store udfordringer indenfor industriel nanoteknologi, at gå fra en tidskrævende sekventiel proces til en parallel proces - nanoimprint litografi - på linie med Gutenbergs 1400-tals revolutionerende trykketeknik.

Mål for projektet

• Udvikle nanoprocesser til fremstilling af trådløse sensorer
• Udvikling af unik metalliseringsmaskine
• Udvikling af Step and Flash nanoimprint litografi

Deltagere

• DTU Nanotech og DTU Danchip
• NanoSyd, MCI, Syddansk Universitet
• University of Texas, MRC, USA
• Carinthian Tech Research, Østrig  
• Nil Technology ApS, Polyteknik A/S, Sense A/S, Widex A/S

Octopus – The European NanoImprintFactory – har paralleller til 1400-tallets revolutionerende trykketeknik (Gutenberg) og en opfindelse af den grafiske fladtryksmetode (litografi, Alois Senefelder 1796-1798). Trykpladen var dengang en planslebet kalksten. Hammer og mejsel afløses i Octopus af en 25-30 kiloelektronvolt elektron- eller ion-stråle og trykpladen af en meget planslebet glasplade. Den skrevne struktur trykkes ind i en flydende polymer – en fotoresist – lagt på et substrat. Resisten hærdes efterfølgende med ultraviolet lys. Mønsteret ætses frem. Teknikken kaldes nanoimprint litografi (NIL), når ”bogstaverne” har dimensioner fra 10 til 1000 nm (1 nm = 0,000000001 m). Bagning af vafler er imprint litografi på husholdningsplan. Vaffeljernets struktur er mønstret, jernet trykpladen og dejen er fotoresisten. Uden fedtstof hænger formen i fotoresisten. Det samme gør sig gældende ved trykning af nanostrukturer. Atomare og molekylære tyndfilm er fedtstoffet i NIL. Octopus kombinerer state-of-the-art trykkeprocesser med state-of-the-art tyndfilmteknikker, og skaber helt nye produkter og helt nye overfladeegenskaber i eksisterende produkter. The European NanoImprintFactory er et højt specialiseret vaffelbageri – i nutidens sprog kaldet en Foundry. Litografi (gr.), stentryk.